SMART UPGRADE & MONITORING · CIP
CIP 效能優化方案
依製程需求查閱模組與功能。
CIP 效能優化方案
需求、模組與功能對照
- 溫度敏感製程MTC
- 高精密化學品溫控系統
- 溫度敏感製程WTG
- 晶圓溫度梯度管理系統
- 電腦與軸控升級IPC
- 以全新系統取代已停產電控架構
- 訊號整合SIS
- 訊號整合系統
- 製程轉換材料更換未列模組代碼
- 將管路與製程腔材料更換為與新化學品相容的耐化性材料
- 氣泡移除DEB
- 管路除泡設計
- 滴漏防止SBS
- 回吸系統
- 需複雜設計之補酸／混酸未列模組代碼
- 智慧補酸／混酸系統設計